氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。該設備的靈敏度高、操作便捷、低維護，使您放心得到準確可靠的測試結果。氦質譜檢漏儀在使用時應注意：
1、不要隨意拔出配管：當設備處于加壓狀態，禁止拔出連接儀器和減壓閥之間的配管接頭。不然大量的壓縮空氣被吹出，會對人體有害。不得擠壓：不得踩踏儀器或坐在儀器上，不得將其它物品放置在儀器上。
2、一般情況下，真空檢漏時要重點關注以下部位：法蘭接口部位；焊接部位；波紋管部位；其他密封部位。
3、(1)對工件噴氦應按以下順序進行：從上往下。從靠近測試口到遠離測試口。
(2)噴氦時應經常檢查噴槍口是否有氦氣噴出。
(3)檢完工件，必須將“節流閥”關閉，才能取工件。
(4)對同一工件，如有兩處以上漏點，應排除*大的漏點后，再對其它地方檢漏。
(5)裝工件時應使連接處密封好，不能有漏。
(6)檢漏間應通風良好，避免氦氣濃度，但應避免強通風，使用過程中應避免泄漏浪費。
